沉积薄膜相关论文
目前激光微型加工主要用于微电子学、微型机械加工、微光学领域，本文对它在这几方面的应用情况及其他方面的前景作一介绍。1 微电......
必须承受高功率激光输出的光学元件一般都需要涂高功率薄膜。这些涂层可以是反射、透射、偏振或分束。重要的是要指出，根据应用的不......
大面积薄膜的组分和厚度分布是实际工艺中最为关心的问题之一.利用实验和直接模拟Monte Carlo(DSMC)方法,分别研究了双电子束和三......
采用射频等离子体增强化学气相沉积(radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition,RF-PECVD)技术在玻璃衬底上沉积......
一种新型光敏薄膜材料——三硫化二砷,不必经过任何胶卷处理就能在大约10秒钟内产生全息图象。与将特殊胶卷先曝光然后定影的一般......
近年来,纳米多层金属膜的制备及性能分析成为材料研究的热点,特别对于Ti-Al合金薄膜,由于具有高强度、高耐热性、抗氧化、抗蠕变及......
铜的卤化物在过去的几年中已经强烈的引起了人们兴趣。这是因为它们是研究非线性光学的理想模型材料并且其表现出许多不寻常性质(......
近年来，随着等离子体技术的不断发展，大气压等离子体射流因结构简单，无需真空腔室已经在环境、材料、农业和医学等领域中得到了广泛的......
大气压冷等离子体射流(APPJ)沉积薄膜的技术是一种设计简单,容易起辉,易于维持,运行稳定,重复性高,无污染的新型镀膜工具。其无需......
随着微电子技术与产业的发展,微电子器件变得越来越小型化与集成化。因此,在微电子器件中,特别是在动态随机存储器（DRAM）中,高介电常......
(上接2012年第5期第80页)材料组织结构的不均匀会使点蚀倾向增加。如钢中非金属夹杂物MnS常成为点蚀的起源,奥氏体不锈钢中的δ铁......
大气压等离子体因具有很多独特优势从而在材料制备和表面工艺领域备受关注.本文利用大气压针-板电晕放电等离子体射流制备氧化钛(T......
在激活期间形成的氟化物电影的物理特征和微观结构被调查用 SEM， XPS 和 SAM，和它在无电的镍的稳定性(在) 洗澡被分析。氟化物电影在......
气体绝缘金属封闭线路（GIL）和气体绝缘金属封闭开关设备（GIS）中的金属微粒污染是影响设备绝缘性能的主要因素之一，而电极表面覆膜能够在......
