介绍了在ＳｉｌｖａｃｏＴＣＡＤ软件中最新加入的磷扩散模型－ＰＥＲＣＯ模型，该模型建立了杂质，空位及自间隙的连续性方程，描述了由于高浓度磷扩散引起的超平衡缺陷对磷......