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MOCVD温度控制系统的研究
MOCVD(金属有机化合物化学气象积淀)[4],是第三代半导体材料GaN生长技术。反应室温度是决定MOCVD系统外延材料生长质量的关键因素......
学位
MOCVD
温度控制器
PIC18F87J72
PID控制
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