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PVD沉积相关论文
基于PVD法制备TiAlN与TiSiN三元膜的组织与性能间关系研究
伴随超硬材料和轻金属及合金等新材料的大量使用,“绿色”成型和高效加工已成为制造业中常态化的应用手段。为此,防护膜在质量和性......
学位
TiN系三元膜
PVD沉积
强化机制
微观应变
润湿
腐蚀
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