PVD钛薄膜相关硕士博士期刊学术论文

采用物理气相沉积(PVD)的方法,以导电玻璃为基材沉积金属Ti薄膜,并将其作为阳极,在1％HF溶液中采用恒压(20V)阳极氧化的方法,制备出......