P型硅外延相关论文
本文主要以6英寸的P型硅外延片的具体生产工艺进行了深入探讨.相关人员通过对相关工艺进行优化,对产生的非主动掺杂效应做好了科学......
主要进行了6英寸(152.4 mm)高均匀性P型硅外延片的生产工艺研究。利用PE-2061S型桶式外延炉,在重掺硼的硅衬底上化学气相沉积P/P+型硅......