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RF-ICP相关论文
RF-ICP等离子体氮化304不锈钢过程中离子束流密度对氮化层的影响
研究了射频电感耦合等离子体RF-ICP低温氮化304奥氏体不锈钢过程中离子束流的重要作用。带有负偏压的不锈钢样片被插入到射频电感......
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RF-ICP
离子束流
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