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化学气相沉积制备高纯度Re、Ir的相关机理研究
Re作为高熔点金属材料具有优异的高温机械性能,能够在较大温度范围内抵抗除O之外的多种腐蚀;另一种高熔点金属材料Ir则可以在2100......
学位
化学气相输运沉积(CVD)
Re
Ir
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Ir(acac)3
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