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Reversed-dip-coa相关论文
反提拉Sol-Gel法制备PZT薄膜及热处理工艺对薄膜性能结构影响的研究
通过醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯分别制备独立稳定的前驱单体,采用Sol-Gel反提拉涂膜技术在基片Pt/Ti/SiO2/Si上制备PZT铁电薄膜.本......
期刊
薄膜性能
PZT铁电薄膜
退火气氛
硝酸锆
SOL-GEL法
基片
SiO2
制备
钛酸丁酯
退火温度
PZT
Sol-Gel
Reversed-dip-coa
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