SIMS技术相关论文
石笋δ18O 是重要古气候代用指标之一,而年内分辨率δ18O 记录对于捕捉气候突变事件的细节特征极为重要[1].二次离子质谱技术(SIMS......
本文借助SIMS技术,系统地分析了45keV,1×10^-14,2×10^-15和5×10^-15cm^-2BF^+2注入单晶硅和80keV,2×10^15cm^-2BF^+2注入多晶硅栅在快速退火条件下,F在单昌硅和多晶硅栅中的分布剖面......