SU-8厚胶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

SU-8厚胶相关论文

在金属基底上制作高深宽比金属微光栅的方法

根据光学领域对高深宽比金属微器件的需求,利用UV-LIGA工艺在金属基底上制作了具有高深宽比的金属微光栅。采用分层曝光、一次显影......

期刊

金属微光栅高深宽比 UV-LIGA工艺 SU-8厚胶微电铸

基于SU-8厚胶镍模具制作及其尺寸精度控制研究

基于SU-8胶的UV-LIGA技术已广泛应用于微机电系统(MEMS)中,其具有微小结构成型、复杂结构成型、批量生产、能够得到高深宽比和侧壁......

学位

微电铸 SU-8厚胶热溶胀性隔离带尺寸精度

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