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Si~+小剂量分步多次注入相关论文

Si~+小剂量分步多次注入及Fe~+/Si~+复合注入SOI材料的发光性质研究

Si是地球上储量最为丰富的元素,同时在应用方面Si材料具有其它半导体材料无法比拟的优越性,因此它被作为一种广泛应用的电子材料。......

学位

SOI 离子注入 Si~+小剂量分步多次注入 Fe~+/Si~+复合注入光致发光

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