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Si基片各向异性相关论文
Si基片各向异性腐蚀特性研究
为了制备高性能铁电薄膜红外探测器,对Si微桥的湿化学腐蚀工艺进行了研究.利用Si基片各向异性腐蚀特性,在四甲基氢氧化铵(简称TMAH......
期刊
Si基片各向异性
腐蚀特性
KTMAH腐蚀液
anisotropy of Si substrates
etching solution properties
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