Si过渡层相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

Si过渡层相关论文

氟化类金刚石薄膜附着性能的研究

本文研究了F-DLC薄膜的附着性能。实验制备了两种F-DLC薄膜样品，第一种采用反应磁控溅射法，以氩气（Ar）和三氟甲烷（CHF3）为源气体并利用31......

学位

磁控溅射 Si过渡层氟化类金刚石薄膜射频功率结合强度

Si过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性的影响

研究了不锈钢基片上Si过渡层对F-DLC薄膜附着特性的影响.采用反应磁控溅射法,以Ar为源气体,在316L不锈钢基片制备了Si薄层,并在Si......

期刊

磁控溅射 Si过渡层氟化类金刚石薄膜结合强度

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