Si-B-N复合薄膜相关论文
使用工业射频等离子体化学气相沉积(RF-PCVD)设备,通过控制合理的工艺参数,在不同的基体负偏压下,分别制备出了Si-B-N非晶以及含有......
利用三极射频-直流负偏压-等离子体增强化学气相沉积技术在45^#钢表面制备了附着力较强的Si-B-N复合薄膜；采用X射线衍射仪和X射线光......
利用X射线衍射(XRD)和X光电子能谱(XPS)等技术对射频-直流-等离子化学气相沉积(RF-DC-PVCD)在钢基体上Si-B-N复合薄膜的组成和结构......
