硅-硼-氮复合薄膜相关硕士博士期刊学术论文

硅-硼-氮复合薄膜相关论文

利用X射线衍射(XRD)和X光电子能谱(XPS)等技术对射频-直流-等离子化学气相沉积(RF-DC-PVCD)在钢基体上Si-B-N复合薄膜的组成和结构......

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