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Si-Ge相互扩散相关论文
Si上Ge外延薄膜激光再晶化关键技术研究
随着微电子、光电子技术的发展,新材料、新技术不断涌现。Si衬底上直接外延生长Ge外延层(Ge/Si)技术,兼具Si衬底与Ge半导体优势,在......
学位
Si上Ge外延薄膜
激光再晶化
反射率与吸收率
温度分布
Si-Ge相互扩散
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