SiC薄膜结构性质相关硕士博士期刊学术论文

作为新一代的半导体材料，SiC具有优良的化学物理性质，因此，SiC薄膜的制备工艺也越来越受到人们的关注。本文主要对当前SiC薄膜的制备......