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作为新一代的半导体材料，SiC具有优良的化学物理性质，因此，SiC薄膜的制备工艺也越来越受到人们的关注。本文主要对当前SiC薄膜的制备工艺进行详细的研究介绍，并进一步总结讨论了各种制备工艺的优缺点。
SiC薄膜的制备工艺研究进展
【摘 要】
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作为新一代的半导体材料，SiC具有优良的化学物理性质，因此，SiC薄膜的制备工艺也越来越受到人们的关注。本文主要对当前SiC薄膜的制备工艺进行详细的研究介绍，并进一步总结讨论了
【机 构】
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贵州大学大数据与信息工程学院
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2015年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（61264004）,科技部国际科技合作专项项目（2008DFA52210）,贵州省科技攻关项目（黔科合GY字[201113015）,贵州省科技创新人才团队建设专项资金项目（黔科合人才团队[201114002）,贵州省国际科技合作项目（黔科合外G字[2012]7004.[2013]7003）.贵州省教育厅“125”重大科技专项项目（黔教合重大专项字[20121003）,贵阳市科
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