SiC衬底石墨烯器件相关硕士博士期刊学术论文

在目前众多的石墨烯制备方法中，SiC外延生长石墨烯由于能和主流的CMOS工艺相兼容并且不需要衬底转移而受到研究人员的高度关注。然......