SiO2-Si3N4复合介质膜相关硕士博士期刊学术论文

对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD S......