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SiONH薄膜相关论文

PECVD法制备的SiOxNyHz薄膜的直流电导特性研究

本文研究了在低温（430℃）下用PECVD法淀积的SiO<sub>x</sub>N<sub>y</sub>H<sub>z</sub>薄膜的直流电导特性。实验证实这种薄膜即使......

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SiONH薄膜制造 PECVD法电导特性

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