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Si_3N_4钝化膜相关论文

ECR-PECVD制备UHF大功率管浅结芯片中Si_3N_4钝化膜的应用研究

利用ECR－PECVD技术将Si3N4薄膜成功地应用于UHF大功率晶体管浅结芯片中的钝化膜，使芯片电特性有较好改善，完全避免了芯片后加工工序中......

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Si_3N_4钝化膜 ECR-PECVD UHF 大功率晶体管加工工序功率管反向击穿电压应用研究电特性高能离子

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