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激光在气敏传感器制备中的应用研究
气敏传感器在环境保护、工业、民用等方面有广泛的应用,为了降低气敏传感器制作成本(计算机控制激光在基片表面选区沉积金属电极,......
学位
脉冲Nd:YAG激光
激光诱导化学固相沉积
激光诱导化学液相沉积
基片电极
激光烧结
气敏传感器
SnO膜
ZnO膜
WO膜
气敏特性
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