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相位扫描法制作变栅距光栅
提出了一种制作变栅距(VLS)光栅的相位扫描方法.该方法的主要装置包括一个用于控制刻划机运动的光栅干涉仪和一个相位扫描机构.如......
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变线距光栅
相位扫描
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VLS gratings
Phase scanning
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