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固态纳米孔的制造及离子输运研究
固态纳米孔具有孔径可调、耐酸碱性好、高温条件下结构稳定和与半导体制造工艺兼容等优点,在纳米流体领域具有广泛的应用前景,尤其......
学位
纳米孔
氮化硅
离子输运
壁面电荷
等电位点
钙离子
TESPMA
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