Ta-Al-N薄膜相关硕士博士期刊学术论文

采用磁控反应共溅射法制备了Ta-A1-N纳米薄膜及Cu／Ta-A1-N／Si结构，并在氮气保护下对薄膜进行了快速热处理，用四探针电阻测试仪、台阶仪......