为研究V元素对Ti-Al-V-N复合膜摩擦磨损性能的影响、制备性能更为优异的薄膜,采用真空磁控溅射方法制备了不同V含量的Ti-Al-V-N复......

本论文采用反应磁控溅射制备了Ti-Al-N复合膜、Ti-Al-V-N复合膜和Ti-Al-N/VN纳米结构多层膜,研究了Al含量对Ti-Al-N复合膜的微结构......