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X-射线衍射仪技术(XRD)相关论文
磁控溅射制备CrSi2薄膜工艺及光学性质研究
采用直流磁控溅射及真空原位退火方法制备半导体CrSi2薄膜,研究了退火工艺和溅射工艺,通过X-射线衍射仪(X-ray diffraction-XRD)和扫......
学位
磁控溅射
原位退火
X-射线衍射仪技术(XRD)
扫描电子显微镜(SEM)
半导体CrSi2薄膜
间接带隙半导体
光学性质
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