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电子束蒸发和离子束溅射HfO2紫外光学薄膜
HfO2薄膜在紫外光学中具有十分重要的地位,不同方法制备的HfO2薄膜特性不同,可以满足不同的实际应用需求。本文分别利用电子束蒸发和......
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