X线光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

X线光刻相关论文

基于薄片云母载基的X线掩模版的研制

Ｘ－ｒａｙ光刻（ＸＲＬ）是微／纳米光刻技术中至关重要的批量复制技术，ＸＲＬ的发展在于不断对Ｘ－ｒａｙ源、新型的ｓｔｅｐｐｅｒ、Ｘ线掩模版以及相关处理工艺的研究进展。其中，Ｘ线掩模版......

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X线光刻云母载基 X线掩模版 XRL Xray lithography (XRL) high resolution micabased Xray mask

21世纪的光刻技术

<正> 当前世界半导体工业按照摩尔定律,以快速发展的势头向21世纪,光刻特征线宽越来越小,硅片直径越来越大,制造成本越来越高。到2......

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深紫外光刻电子束投影光刻 X线光刻

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