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Zn-Ti-O体系相关论文
几种锌基氧化物薄膜的原子层沉积制备、生长特性与性能表征
在近几十年里,材料科学取得了长足的发展。随着信息时代的来临和多学科的交叉,人们对具备各种优异性能的新材料需求日益迫切。半个......
学位
原子层沉积
ZnO
Al掺杂ZnO
Zn-Ti-O体系
生长特性
电阻率
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