ZnO—TFT相关论文
采用直流磁控溅射在SiO2／n—Si（111）衬底上沉积了Al薄膜，经过光刻、刻蚀形成源漏极，再采用射频磁控溅射沉积ZnO薄膜作为有源层，成功制备......
文章主要是研究采用磁控溅射和电子束热蒸发两种制备方法来制备ZnO—TFT器件，并通过XRD和透射光谱来对样品的性质进行分析比较，得出......
