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Zr-Al-N复合膜相关论文

Zr-Al-N及Zr-Al-Si-N复合膜的微结构及力学性能

采用多靶反应磁控溅射技术制备不同Al含量的Zr-Al-N复合膜及不同Si含量的Zr-Al-Si-N复合膜。采用能谱仪、X射线衍射仪和显微硬度计......

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复合膜 Zr-Al-N Zr-Al-Si-N Zr-Al-N复合膜微结构显微硬度反应磁控溅射力学性能薄膜硬度纤锌矿结构

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