Zr-N薄膜相关硕士博士期刊学术论文

Zr-N薄膜相关论文

在不同的沉积温度下，用射频反应磁控溅射的方法在Si（100）衬底和Cu膜间制备了Zr-N阻挡层。用四探针电阻测试仪（FPP）、AFM、XRD、AES研究......

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