a-IGZO薄膜相关论文
利用椭圆偏振光谱仪和原子力显微镜,研究了相同温度下不同退火气氛及压强处理对溶液旋涂法制备a-IGZO光学特性和薄膜微观结构的影......
基于溶液旋涂法和高压退火工艺制备了a-IGZO薄膜。采用椭圆偏振光谱分析仪以及原子力显微镜研究和分析了H2O2对薄膜的表面结构和光......
采用溶胶-凝胶法制备了非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）薄膜,通过热重-差热示差技术分析了a-IGZO形成机理,并研究了热处理对a-IGZO薄膜的结......
