a-Si(1-x)Cx:H薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

a-Si(1-x)Cx:H薄膜相关论文

RF-PECVD法制备a-Si（1-x）Cx：H薄膜的光学性能研究

以SiH4和CH4为源气体,采用射频等离子增强化学气相沉积（RF-PECVD）方法,通过改变CH4/SiH4流量比和射频功率制备非化学计量比氢化非晶......

期刊

a-Si(1-x)Cx:H薄膜 PECVD 傅里叶转换红外光谱紫外-可见光谱光学性能 a-Si1-xCx：H thin film RF-PECVD FTIR

看过本文同时还关注