a-SiC薄膜相关硕士博士期刊学术论文

本论文在微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体辅助下,利用Si、C双靶磁控溅射和Si靶、CH4磁控溅射两种方法分别制备了无氢和含氢SiC薄......