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a-SiCdTe∶H薄膜做液晶光阀光敏层的光学特性研究
采用射频磁控溅射法制备了用于液晶光阀光敏层的a-Si1-x(CdTe)x∶H薄膜。研究了CdTe含量对氢化非晶硅薄膜光学性能的影响。采用扫......
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射频磁控溅射
a-SiCdTe∶H薄膜
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