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Zn在Ⅲ-V族半导体中的扩散机理与低禁带红外电池制备的研究

锌(Zn)是一种P型掺杂物质,其气相扩散过程可广泛应用于Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体(GaSb、GaAs、GaP、InAs等)的P型掺杂工艺,因此研究Zn在......

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Zn扩散 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体 kink-and-tail曲线 box曲线 GaSb红外电池 InAs红外电池

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