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甲烷浓度对CVD金刚石薄膜晶体学生长过程的影响
采用X射线衍射技术、电子背散射衍射技术和扫描电镜分别观察了不同甲烷浓度条件下沉积的CVD自支撑金刚石薄膜的宏观织构、微区晶界......
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金刚石薄膜
织构
晶体生长
表面形貌组织
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