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硅的微机械加工技术
论述硅的各向同性腐蚀与各向异性腐蚀的工作原理,提出硅膜厚度的控制方法。实验中得出异向腐蚀时的最佳温度为95℃,腐蚀速率v=1μm/min。......
期刊
各向异性
腐蚀
硅膜片
各向同性
硅
微机械加工
anisotropic
etchnique
silicon diaphragm
isotropic
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