微机械加工相关论文
故障诊断与安全监测对微加速度传感器提出了迫切需求,然而,目前在市面上主要以高精度、低量程产品为主,产品量程和部分性能不能有......
通过对硅进行微机械加工、室温操作和批量处理,波音公司Anaheim电光中心在红外成像技术上取得了突破,获得了U3000型非致冷焦平面......
微机械加工(Micro-Electro Mechanical System,MEMS)工艺中常需要应用到低应力氮化硅作为结构层或钝化层材料,以降低圆片的翘曲。......
介绍了国内外一些超精密技术应用在微机械加工中的方法。
Introduced a number of domestic and foreign ultra-precision techno......
本论文从理论出发，系统地阐述了阳极键合的原理、表面清洗和表面处理工艺等基础理论。 在对键合机理的研究基础上，用氧等离子体和亲......
随着微机械加工技术和MEMS技术的快速发展,微型化成为传感器发展的重要方向。采用与标准IC工艺相兼容技术制作而成的微热板式微气......
该论文对微机电系统(MEMS)的概念、特点,微机械加工技术的种类、条件、步骤进行了介绍,分析了国内外的测量测试方法,对测量表面形......
作者首先研究了硅各向异性腐蚀工艺和切角补偿方法、四电极电化学掺杂选择腐蚀技术、高温硅直接键合工艺、硅常温静电键合工艺.获......
微机械加速度传感器是一种重要的惯性器件，在航空航天、汽车工业、石油探测和地震预报等领域中有着广泛的应用。电容式加速度传感器......
柔性多维力传感器阵列可以广泛应用于机器人、航空航天、科研以及其它特殊应用领域.如将其安装在机器人的操作手上,可以感知被抓取......
智能传感器是涉及多学科的综合高新技术,已在军事、航空航天、科研、工业等领域广泛应用。介绍智能传感器的概念、原理及其分类,并......
在(100)硅上制作边沿晶向的长方形掩模,用KOH各向异性腐蚀液腐蚀可制得竖直微镜,这种微镜存在凸角削角问题.研究了边沿晶向掩模的......
分析了硅各向异性腐蚀模型及其模拟的研究现状。介绍了两类主要的腐蚀模型—几何模型和原子模型各自的特点、利弊及发展变化的趋势......
本文利用微机械加工技术，通过改变材料表面微观几何结构，研究材料表面微结构对于表观润湿性的影响规律．我们在以前工作的基础上，分别研......
极板结构直接影响微型直接甲醇燃料电池的极化特性，采用微机械加工技术制作几种不同极板流场结构的直接甲醇燃料电池．通过对不同极板......
本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展,简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术,对我国MEMS传感......
简要介绍了ＬＩＧＡ工艺过程，特点和应用实例。...
介绍了日本微电子机械系统的发展现状.分析了该技术发展的背景、基础技术、应用领域、面临的问题以及今后发展的趋势.......
具有不同孔径尺寸和孔隙率的多孔硅在不同的MEMS中可作为功能结构层和牺牲层.简要介绍了多孔硅的结构和制备方法;与体微机械和表面......
简要介绍了在强碱溶液中硅的各向异性刻蚀性质和凸角补偿技术。...
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.探讨了PZT薄膜微驱动......
针对传统微机械＂固—固＂型触点开关存在触点磨损、接触不稳定、导通电阻大、抗干扰能力差等缺点,设计制作了一种利用水银液滴在变矩......
针对深沟槽内结构制作困难的问题,基于单晶硅各向异性腐蚀原理,推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀......
为了解决“三明治”这类微器件制作的深窄槽结构成型问题，运用无掩膜湿法腐蚀技术，成型悬臂梁雏形后再成型质量块，较好地实现了悬臂梁......
1引言迄今为止，以棒状晶体为工作物质的固体激光器主要用于材料加工，其泵浦源已由灯发展到半导体激光器（LD），因此固体激光器的性能得到......
非致冷测辐射热计以其高性能和低价格 ,成为红外热成像技术新的研究热点。焦平面设计为桥式结构 ,器件制作采用微机械加工技术。文......
提出了一种混成式三维神经元探针阵列结构和相应的制备流程。制备流程主要包括倒焊互连工艺和多刀片切割工艺,采用倒焊工艺将厚硅......
利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理，特点及发展趋势。......
主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势....
概述了利用化学镀和激光照射形成PCB的微细铜图形。玻璃纤维环氧树脂板浸渍于Pd2+溶液中,采用化学镀铜在环氧树脂上沉积铜层。镀铜......
设计了一种解耦的微机械陀螺，它能够极大地降低正交误差信号的影响，从而大大地提高佗螺的性能；制造了一批样机，进行了初步的驱动特性和......
提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在（111）硅片上制作出了具有信号输出......
基于阳极键合过程中的静电吸合效应，提出了一种可避免静电黏附失效的低应力阳极键合技术．采用湿法腐蚀技术制作了梯形截面的硅梁结构......
根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器--绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良......
研究了一种新型真空微电子氢气传感器,其原理为气体在高电压激发下发射出与其吸收光谱相同的特征光谱.用微机械加工方法在硅片上加......
设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺．该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼，有效提高了微机械陀螺......
基于介电润湿研制了一种将零电极布局为介电层表面的双极板结构数字微流控芯片。为了降低驱动电压并提高介电层的抗击穿能力，将介电......
物联网：新兴产业发展的重要方向所谓物联网是通信网和互联网的拓展应用和网络延伸，就是利用感知技术与智能装置对物理世界进行感知识......
利用 IC工艺和微机械加工技术制作了一种硅 /二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异 ,不同......
微传感器步入生物医学领域ＭＥＭＳ器件功耗小、重量轻、成本低、适宜用于研制化学分析仪、微仪器及微系统ＣｈｅｒｙｌＡｊｌｕｎｉ瘫痪病人得以重新控制自己的肢体......
文章对于直接甲醇燃料电池（滋DMFC）的双极板结构进行了设计并制作、测试。设计了两种电极板的结构：点型极板和蛇型极板流场结构,并且......
研究了半导体压阻式压力传感器制作中的关键工艺--硅各向异性腐蚀.采用两种腐蚀液:m(TMAH):V(H2O)=50 g:50 ml和m(KOH):V(IPA):V(H......
采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外......
