研究了离子镀ＴｉＮ 涂层在５００ ～７００ ℃间的高温氧化特性， 并利用ＳＥＭ 观察和ＸＲＤ 相分析研究了氧化产物的类型及膜失效机制。结果表明， ＴｉＮ 膜的氧化遵循抛物......