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mm硅单晶相关论文

Φ125 mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究

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Φ200 mm硅单晶的生长工艺特点

在全自动拉晶条件下，讨论了拉制Φ２００ｍｍ硅单晶遇到的新问题。热场配置、工艺参数的选择、石英坩埚的选用等有了更严格的要求。合理的轴向......

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Φ200 mm硅单晶无位错热场工艺参数系统操作参数表

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