We have been developing new fabrication tools based on optical radiation pressure and related phenomena to develop a fle......

摘 要:针对所研制的纳米三坐标测量机的具体结构,运用现代精度保障理论和技术,结合动、静力学相关知识,进行了纳米量级水平的误差......

基于误差分离技术，以德国SIOS公司的微型纳米级精度的三光束激光干涉仪SP2000为高精度的标准量，对正在研制的新型纳米三坐标测量机进......

根据纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,选用微型三光束平面激光干涉仪分离测量机误差。设计了误差分离装置,实现了干......

利用现代精度设计思想,根据纳米三坐标测量机的结构设计,分析了影响其精度的各项误差源,提出所需检定仪器的具体技术指标;根据给定......