pn结自停止腐蚀相关硕士博士期刊学术论文

提出了一种新的电容式压力传感器，传感器结构为由Al／SiO2／n—type Si等三层方形膜构成的固态电容．传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键......