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新型塔形压电式粘滑直线作动器
为了达到纳米级的定位精度,并考虑到压电式粘滑作动器能够达到极高的定位精度(<5 nm),研发了一种塔形压电式粘滑直线作动器.该作动器......
期刊
压电作动器
塔形
粘滑
锯齿
piezoelectric actuator
tower-type
stick-slip
saw-shaped
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