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具有T型电荷补偿区的横向超结SOILDMOS
非平衡超结器件的电荷补偿能力在薄层SOI器件中受到限制,文中提出一种具有T型电荷补偿区的器件结构。通过漏端刻蚀的PSOI结构使硅......
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超结
T型电荷补偿
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super junction
T-type charge compensation
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