synchro-epitaxynucleationCVD 相关硕士博士期刊学术论文

介绍了多晶硅、单晶硅的同步外延．采用两步外延工艺，研究了硅烷流量、外延时间以及外延温度对外延质量参数α的影响．硅烷流量大、初始......